做sem端口扫描需要平整度吗_做sem端口扫描需要平整
4、SEM观察的样品,必须是平整的样品吗?
不是。
SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
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2022-12-29
端口扫描